多晶硅炉体盘结构，包括底盘本体，底盘本体为碗状结构，底盘本体上设有沿底盘本体分布的冷却液腔，底盘本体下端外侧设有与冷却液腔连接的冷却液进口，底盘本体上端外侧设有与冷却液腔连接的冷却液出口，碗状结构的底盘本体开口向外延伸形成法兰连接面，底盘本体中心设有进气口，进气孔与进气管连接；底盘本体内中心设有两端开口的支撑盖，支撑盖侧面设有多个出风口；底盘本体进气口正上方设有配风罩，配风罩上均匀地设有多个贯通配风孔，具有冷却效果好的优点，不同硅棒之间的一致性好，硅棒生长质量控制好。
多晶硅炉体盘的工作原理：将多晶硅材料放入涂有涂层的氰铬合金中，置于定向凝固块上；关闭炉孔后，真空并加热。硅材料完全熔化后，保温笼缓慢向上提升，硅材料结晶过程中释放的热量通过定向凝固块辐射到下部炉腔内壁，从而在硅材料中形成垂直温度梯度。这种温度梯度导致站耳蜗中的硅液从底部凝固，并从熔体底部向顶部生长。硅材料凝固后，硅锭经退火冷却后排出，完成整个铸锭过程。
热场是多晶硅炉体盘的核心，多晶硅铸造和钻孔炉配有石墨加热器、隔热层、发绀耳蜗和硅材料。多晶硅的生产过程必须通过调节加热室来实现。因此，多晶硅炉体盘加热室的结构设计十分重要。
